Σύμφωνα με τα χαρακτηριστικά του υλικού του υποστρώματος, την ακρίβεια της επιφάνειας του υποστρώματος, την τραχύτητα της επιφάνειας και τους τύπους των σωματιδιακών ρύπων, οι τρέχουσες μέθοδοι καθαρισμού με λέιζερ μπορούν να χωριστούν στις ακόλουθες δύο κατηγορίες.
1) Μέθοδος στεγνού καθαρισμού με λέιζερ. Το λέιζερ ακτινοβολεί άμεσα την επιφάνεια του αντικειμένου, μολύνει τα σωματίδια ή απορροφά ενέργεια στην επιφάνεια και στη συνέχεια κάνει τα σωματίδια να αφήνουν την επιφάνεια με θερμική διάχυση, φωτοαποσύνθεση και αεριοποίηση.
2) Μέθοδος υγρού καθαρισμού με λέιζερ. Ψεκάστε λίγο μη μολυσμένο υγρό (κυρίως νερό, μερικές φορές αλκοόλ) στην επιφάνεια του υλικού που θα καθαριστεί και στη συνέχεια ακτινοβολήστε με λέιζερ. Μετά την απορρόφηση της ενέργειας λέιζερ, το υγρό μέσο θα παράγει εκρηκτική εξάτμιση και θα απομακρύνει τα σωματίδια ρύπανσης γύρω από αυτό από την επιφάνεια του υλικού. Επιπλέον, έχει προταθεί η λεγόμενη μέθοδος καθαρισμού σύνθετων λέιζερ. Η ενέργεια λέιζερ απορροφάται από το υλικό του υποστρώματος, και στη συνέχεια το προσροφημένο ενδιάμεσο μέσο θερμαίνεται με θερμική μεταφορά και το ενδιάμεσο μέσο παράγει εκρηκτική εξάτμιση. Κινούμενα από υψηλή ροή αέρα, τα σωματίδια διαχωρίζονται από την επιφάνεια του υποστρώματος μαζί με το ενδιάμεσο μέσο.
