Πρόσφατα, το Ινστιτούτο Μικροσυστήματος και Πληροφορικής της Σαγκάης της Κινεζικής Ακαδημίας Επιστημών έχει αναπτύξει έναν καθρέφτη υψηλής απόδοσης MEMS με ολοκληρωμένους αισθητήρες γωνίας. Ο καθρέφτης έχει μεγάλο μέγεθος, μικρό όγκο πακέτων, εξαιρετική απόδοση και μεγάλη δυνατότητα στις δορυφορικές επικοινωνίες λέιζερ.
Ο γρήγορος καθρέφτης χρειάστηκε σχεδόν πέντε χρόνια για να αναπτυχθεί. Υιοθετεί την ετερογενή ενσωμάτωση και την τεχνολογία συγκόλλησης σε επίπεδο πλακιδίων και ο όγκος της είναι μόνο το μέγεθος ενός νομίσματος 1- yuan.
Ξεπερνά τις τεχνικές συμφόρηση των παραδοσιακών μηχανικών καθρέφτη ταχείας αντανακλαστικής και των πρωτότυπων MEMs ταχείας αντανακλαστικής καθρέφτες, δημιουργώντας ένα προϊόν διαστημικής ποιότητας με ακρίβεια του μrad, ικανοποιώντας τους εξαιρετικά υψηλούς δείκτες επιδόσεων των δορυφορικών εφαρμογών.
Εμπνευσμένο από την οθόνη του κινητού τηλεφώνου, η ομάδα χρησιμοποίησε την αρχή της πιεζοηλεκτρικής πίεσης του πυριτίου για να ενσωματώσει τους αισθητήρες γωνίας on-chip και μέσω της δομικής καινοτομίας, η ευαισθησία αυξήθηκε κατά 63%, βελτιστοποιώντας την ακρίβεια του ελέγχου δέσμης.
Τα αποτελέσματα των δοκιμών δείχνουν ότι σε συγκεκριμένη συχνότητα, η ακρίβεια της γωνίας πληροί το πρότυπο και η μέγιστη δυναμική παραμόρφωση της επιφάνειας είναι μόνο 2 νανόμετρα.
Ο υπάλληλος έκανε μια αναλογία, η οποία είναι ισοδύναμη με όλα τα σκαμπανεβάσματα σε έναν καθρέφτη μεγέθους ενός γηπέδου ποδοσφαίρου που δεν υπερβαίνει τη διάμετρο των μαλλιών, ικανοποιώντας τις αυστηρές απαιτήσεις των επικοινωνιών δορυφορικών λέιζερ μεγάλων αποστάσεων στην επιφάνεια του καθρέφτη.
