Όπως όλοι γνωρίζουμε, υπάρχει μόνο ένας κατασκευαστής στον κόσμο που μπορεί να παράγει λιθογραφία EUV, αυτός είναι οASML της Ολλανδίας.
Ο λόγος για τον οποίο υπάρχει μόνο ένας κατασκευαστής στον κόσμο είναι ότι η ASML έχει συνδέσει πολλούς βασικούς κατασκευαστές, όπως η Zeiss (Zeiss), μια γερμανική εταιρεία οπτικών, η Cymer (ΗΠΑ) καιTRUMPF (Γερμανία).
Η ASML έχει συνδέσει αυτούς τους κατασκευαστές στο άρμα της μέσω επενδύσεων, εξαγορών, μετοχών, δημιουργίας ερευνητικών κέντρων και ούτω καθεξής, και αυτοί οι κατασκευαστές είναι πιθανώς οι μόνοι κατασκευαστές στον κόσμο που μπορούν να παράγουν αυτά τα προϊόντα, επομένως τελικά μόνο η ASML στον κόσμο μπορεί παράγουν λιθογραφία EUV.
Ωστόσο, πρόσφατα, μια βασική αλυσίδα εφοδιασμού της ASML, έτρεξε στο Shenzhen της Κίνας για να χτίσει ένα εργοστάσιο, η θυγατρική της Shenzhen εγκαταστάθηκε στο Baoan Sino-German (Europe) Industrial Demonstration Park.
Αυτός ο κατασκευαστής είναι ο Όμιλος TRUMPF της Γερμανίας (TRUMPF), είναι η λιθογραφία EUV της ASML, ο μοναδικός προμηθευτής πηγής λέιζερ στον κόσμο.
Πόσο σημαντικά είναι τα προϊόντα TRUMPF στη λιθογραφία EUV; Πρώτα, ακούστε με να εξηγώ την αρχή της λιθογραφίας EUV, θα καταλάβετε.
Η αρχή της λιθογραφίας EUV, για να το θέσω απλά, επικεντρώνεται σε τρία κύρια συστήματα, το σύστημα πηγής υπεριώδους φωτός EUV, το σύστημα αντικειμενικού καθρέφτη και το σύστημα τραπεζιού.
Η συγκεκριμένη διαδικασία είναι η χρήση λέιζερ για τη διέγερση ενός μήκους κύματος 13,5 nm ακραίου υπεριώδους φωτός, το οποίο στη συνέχεια διορθώνεται για να σχηματίσει μια ελεγχόμενη δέσμη φωτός, η οποία στη συνέχεια προβάλλεται σε ένα τραπέζι φωτομάσκας πριν προβληθεί μέσω ενός αντικειμενικού καθρέφτη σε έναν πίνακα έκθεσης. και τελικά χαράχθηκε σε ένα κύκλωμα σε μια γκοφρέτα πυριτίου επικαλυμμένη με φωτοανθεκτικό.
Πώς λαμβάνεται ένα από τα συστήματα πηγών φωτός EUV UV βομβαρδίζοντας μια σταγόνα μετάλλου κασσίτερου (Sn) με λέιζερ CO2 ισχύος 30 kW, εξατμίζοντάς το σε πλάσμα και τελικά αποκτώντας φως EUV σε μήκος κύματος 13,5 nm.
Αυτό το λέιζερ CO2 ισχύος 30 kW παρέχεται από την TRUMPF, τη μοναδική στον κόσμο.
Μην υποτιμάτε αυτό το λέιζερ CO2, έχει 457.329 εξαρτήματα, το μήκος του καλωδίου στο σύστημα είναι έως 7.322 μέτρα και το βάρος είναι 17.090 κιλά, που είναι ένα από τα πιο σημαντικά βασικά στοιχεία στη λιθογραφία EUV.
Τώρα ο TRUMPF έτρεξε στην Κίνα για να χτίσει ένα εργοστάσιο, η πρόθεση είναι σαφής, δηλαδή, αισιόδοξος για την κινεζική αγορά λέιζερ και ακόμη πιο μακροπρόθεσμη, αισιόδοξος για την κινεζική αγορά λιθογραφίας, το μέλλον μπορεί να συνεργαστεί με την Κίνα για την κατασκευή λιθογραφίας EUV .
Στην πραγματικότητα, υπάρχουν ήδη περισσότερες από μία αλυσίδες εφοδιασμού ASML που τρέχουν στην Κίνα για την κατασκευή ενός εργοστασίου, υπάρχουν KMWE και άλλοι κατασκευαστές, καθώς και στην Κίνα για την κατασκευή ενός εργοστασίου.
Σύμφωνα με την τρέχουσα τάση, μπορούμε αισιόδοξα να περιμένουμε ότι μπορεί να μην αργήσει η τεχνολογία λιθογραφίας της Κίνας να είναι ένα μεγάλο βήμα προς τα εμπρός, και ακόμη και ο όγκος της λιθογραφίας EUV εξόδου, πιστεύετε;
