Ο καθαρισμός με λέιζερ είναι μια τεχνική που χρησιμοποιείται για την απομάκρυνση των μολυσματικών ουσιών από τα πλακίδια ημιαγωγών, προσφέροντας μια ακριβή και μη - μέθοδο επαφής για τη διατήρηση της καθαριότητας αυτών των ευαίσθητων εξαρτημάτων. Είναι ιδιαίτερα πολύτιμο στην κατασκευή ημιαγωγών λόγω της ανάγκης για παρθένες επιφάνειες στην παραγωγή ηλεκτρονικών συσκευών.
https://youtu.be/35wo9j5pxek?si =
Πώς λειτουργεί:
Ο καθαρισμός με λέιζερ χρησιμοποιεί υψηλό - παλμούς λέιζερ έντασης για να απομακρυνθούν οι μολυσματικές ουσίες όπως σκόνη, υπόλειμμα ή σωματίδια μέσω της αφαίρεσης λέιζερ. Η ενέργεια του λέιζερ απορροφάται από τον μολυσματικό παράγοντα, προκαλώντας την εξάτμιση, την εξάτμιση ή την εκτόξευση από την επιφάνεια, ενώ το υποκείμενο υλικό δίσκου παραμένει σε μεγάλο βαθμό ανεπηρέαστη.
Πλεονεκτήματα καθαρισμού λέιζερ για πλακίδια ημιαγωγών:
Ακρίβεια:
Τα λέιζερ μπορούν να στοχεύουν μολυσματικά με υψηλή ακρίβεια, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο βλάβης στη λεπτή δομή του δισκίου.
Non - Επικοινωνία:
Σε αντίθεση με τις παραδοσιακές μεθόδους καθαρισμού, τα λέιζερ δεν αγγίζουν φυσικά το δίσκο, μειώνοντας τον κίνδυνο γρατζουνιών ή θραύσης.
Φιλικό προς το περιβάλλον:
Ο καθαρισμός με λέιζερ μειώνει ή εξαλείφει την ανάγκη για σκληρές χημικές ουσίες που χρησιμοποιούνται στις παραδοσιακές διαδικασίες καθαρισμού.
Ευστροφία:
Διαφορετικές ρυθμίσεις λέιζερ μπορούν να ρυθμιστούν για διάφορα υλικά και τύπους μόλυνσης.
Ειδικές εφαρμογές:
Αφαίρεση σωματιδίων, μεταλλικών ιόντων και χημικών ακαθαρσιών από πλακίδια πυριτίου.
Καθαρισμός επιφανειών πλακιδίων και μάσκες λιθογραφίας.
Αφαίρεση μολυσματικών ουσιών που εισήχθησαν κατά τη διάρκεια της σήμανσης ταυτοποίησης λέιζερ.
Παράδειγμα: Μια μελέτη έδειξε ότι ο καθαρισμός λέιζερ θα μπορούσε να απομακρύνει τα σωματίδια διαφόρων μεγεθών (συμπεριλαμβανομένων των σωματιδίων βολφραμίου 1 μm) από πλακίδια πυριτίου με υψηλή απόδοση. Μια άλλη μελέτη έδειξε την απομάκρυνση μικρών σωματιδίων αλουμίνας χρησιμοποιώντας καθαρισμό σοκ λέιζερ.
